攻克光刻机双工件台

上交所官网展现，光刻机双工件台生打造商北京华卓精科科技股份有限公司已进入受理阶段，继2015年登陆新三板后，该公司在科创板上市线路上再进一步。

 

招股仿单闪现，华卓精科主营营业为光刻机双工件台、超粗糙测控设备零件以及要害部件等衍生打造品的研发、生出产以及销售与妙技就事，今朝属于国家激励类工业。

光刻机工件台是光刻机的核心子零碎之一，被视为芯片高端配备局限“皇冠上的明珠”。其首要功能是承载晶圆根据指定的运动轨迹做高速超精细运动并完成一系列曝光所需动作，包罗凹凸片、瞄准、晶圆面型测量和暴光。一时以来，全世界的光刻机被ASML、尼康与佳能彻底操作，三者较量争论市场占有率高达99%，高端EUV光刻机市场更是由ASML一家独大。

招股书动静透露表现，华卓精科是外洋首家可自立研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供给商，今朝已成为上海微电子的光刻机双工件台提供商。

“作为上海微电子光刻机双工件台的提供商，公司与上海微电 子恒久保持良好的互助相干，一块儿进行 IC 前道光刻机中心技术的研发与 IC 前道光刻机制作品的生产，为国制作光刻机崛起奠定了根蒂，占据了中国商用光刻机双工件台的首要市场份额。”招股抄录道。

账目数据透露表现，2019年、2018年和2017工夫卓精科营收离别为1.21亿元（同比增速41%）、0.86亿元（同比增速58%）与0.54亿元； 2019年、2018年与2017年归母净资本分别为0.21亿元（同比增速38%）、0.15亿元（同比增速21%）与0.13亿元。

为勉励集成电路行业的进行，我国处所财政给以鼎力赞成。华卓精科在招股书中提供的数据显示，报告期内，公司收到的政府补助划分为6,936.83 万元、13,931.25 万元与 32,136.67 万元。